臺式掃描電鏡的基本操作包括調(diào)整焦距和巧妙地消除像散，想要使用掃描電鏡照射出清晰的圖像，就需要熟悉sem掃描電鏡的各種基本操作及基本要求。

臺式掃描電鏡基本操作包括調(diào)整焦距和巧妙地消除像散。對焦比較容易，改變焦距直到圖像清晰。當離焦量較大時，可采用較高的靈敏度，并可在焦點附近降低靈敏度，以實現(xiàn)準確對焦。散光和聚焦是掃描電子顯微鏡操作的基本要求。

在分散的基本操作中比較麻煩，特別是當分散性很大時，對許多初學(xué)者來說比較難以調(diào)整。然而，如前所述，在生成這樣的散射，電子束不再是圓形的，所以圖像在圖像散射的情況下并不清晰。然而，有兩個特殊的位置，子午線和弧向量在光學(xué)，其中光束點是完全正交。清晰的圓一般位于弧線和子午線的中間。

試樣中的各種不同特征點都可以作為一種判斷提供依據(jù)，有關(guān)拉伸方向的判斷并不存在任何的困難，尤其在像散比較大時，不要焦距和像散的兩個重要維度亂調(diào)一氣，以免像散過大而完全無從進行判斷。

操作人員需要嚴格按照上述的基本操作來操作掃描電鏡，這樣才能夠得到很好很準確的圖像，這樣才能有效的延長sem掃描電鏡的使用壽命。各個部件更換起來還是比較昂貴的，這樣可以為企業(yè)節(jié)約大量的成本。